國產掃描電鏡產品介紹

        國產掃描電鏡是草莓视频APP黄色软件儀器經過多年的團隊聯合研發出來的國產掃描電鏡，具有體積小、操作簡單、性價比高、性能優異等特點，掃描電鏡放大倍率30~150,000 X，分辨率為5nm。國產掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理係統、真空係統和電源係統組成，具有放大倍數可調範圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點。下麵介紹國產掃描電鏡：

(一) 樣品製作,安裝(樣品高度調整)

1.在完全釋放真空的狀態下開啟艙門。

2.把固定在控製軸上的支架按照逆時針方麵轉動。 

3.4.擰下固定在支架上的樣品台,安裝準備好的樣品。 

5.固定樣品的高度,通過 W/D JIG調整高度。（W/D指工作距離）

- 旋轉裝在支架上的兩個螺母上下部分,樣品的上緣高度和夾具限位臂下麵一致後,讓樣品高度不變動的情況下互相往反方向旋緊固定螺母。

※ 樣品比較高的情況下可以去掉一個螺母,調整高度。 

6.把載物台固定在支架上,沿順時針方向轉動到位固定。 

7.緩慢關上艙門,同時按下真空按鈕抽真空,待艙門被吸住在鬆手。

 

(二)設備準備、開始, 結束        

1.按下電源開關(POWER)。

2.打開艙門,替換樣品台。【參照手冊（一）】

3.關閉艙門。

4.按住真空按鈕EXCHANGE（三秒）。(抽真空時間2.5分鍾)

  - 確認是否在抽真空,試著開啟艙門。 

  - 真空完成後,信號音(2聲) 和 LED 信號燈長亮不閃爍。

  ※信號音持續呼叫的情況,需要再推一次艙門，再按一次

    Exchange 鍵。

5.在電腦桌麵選擇 SENSE-SEM 圖標,雙擊開始軟件，按照操作順序獲取圖像。

6.圖像拍攝之後點擊軟件上的“stop”按鈕,關閉軟件。

7.長按EXCHANGE卸掉真空。(40秒內完成)

8.關掉電源開關。

 

(三) 國產掃描電鏡SEM S/W 啟動,參數設置

1.雙擊桌麵的SENSE-SEM圖標,等待軟件運行。

2.在軟件左上方選擇合適的加速電壓。（5/10/15/20/30kV）

  -應根據樣品的性質、圖像要求和觀察倍率等來選擇加速電壓。

  -通常加速電壓越高，可提升SEM的分辨率，不同的被觀察物可能需要改變加速電壓,以達到好效果。

3.選擇本次觀察分析使用的探測器類型SE/BSE。（二次電子/背散射電子）

4.選擇High Vacuum模式。（High Vacuum/Low Vacuum 為高真空/低真空）

5.點擊“開始”( Start) 鍵，電子槍發射電子束，形成圖像。 

注：1）.SEM 電源關閉或者 SEM-PC Cable 連接不良，軟件不可運行。 

2）.首次開始的時候以高真空的模式開始，使用過程中可以切換為低真空。

(Only BSE Mode)

3）.確認圖像顯示窗口左上角的電子束電流值是否有上升到 (100uA 以上)。

-電流值40~60uA時鎢燈絲需更換 (不出圖像) 

 

(四) 開啟實時圖像, 移動觀察區域

1.單擊軟件上(320x240）功能，高速實時圖像掃描開始。

調整聚焦時使用此模式

- 圖像比較暗的情況, 需要調整“光斑尺寸(電子量)”的值 

( 參數越低就越亮/ 5~30% - SE 圖像)

- 圖形不穩定或者比較亮白的情況, 同上參數向右調整 

(20~70% - BSE 圖像)

※完全看不到圖像

1).確認燈絲值(圖像顯示窗口左上角的電子束電流值)

2.找樣品觀測點時用（640x480）全屏模式，視野更廣闊。

 

(五)國產掃描電鏡設備點檢和故障處理

（1）Vacuum system的點檢

1）.O型圈點檢及更換

由於經常更換樣品或更換燈絲的緣故，真空艙門部位的O型真空密封圈或電子槍的O型真空密封圈磨損的頻率較高。因為灰塵附著，汙染等原因會造成真空泄露的現象。需要定期進行清潔管理。

將O型真空密封圈從卡槽中取出。請勿使用金屬工具進行操作。若在卡槽或密封圈的表麵造成瑕疵或變形會導致無法完全抽真空。

使用蘸有少量乙醇的無紡布擦拭取出的密封圈，取出上麵的灰塵和汙染物。擦拭好的密封圈請不要直接接觸皮膚或衣服等其他汙染源避免造成二次汙染。

仔細檢查密封圈是否有灰塵或瑕疵。若發現有瑕疵或變形則需要更換密封圈。

蘸取少量真空密封油（Vacuum grease）均勻塗布在密封圈表麵。

使用乙醇將固定密封圈的卡槽清潔幹淨。

將均勻塗布了真空密封油的密封圈按原位置放入卡槽。

2）.Rotary pump oil點檢及更換

真空泵油若量不足或發生變色、變質等現象會影響真空泵的性能。因此需要定期對真空泵油進行檢查和更換。

補充

真空泵油的補充是指在真空泵油沒有變質或汙染的情況下，油量低於標準位置時而進行泵油補充。

泵油補充時請參照真空泵油標尺從注油口處倒入真空泵油。

更換

通過真空泵油標尺處可以看到真空泵油發生變色時或者每隔6個月至1年需定期更換真空泵油。

拆下和設備主機連接著的真空泵管（Air hose）和oil mist。

拆下排出口處螺絲後將泵油排出。

廢油完全排出後重新裝上螺絲，從注油口處注入新油。適當的注入量為真空泵油標尺的下限和上限的2/3處。

重新將設備主機和真空泵管（Air hose）及oil mist連接。

（2）故障處理

1）故障維修

在使用中若設備發生異常，請按照本章中的提示進行操作。若本章中未提及的故障發生時，請停止運行設備並聯係我司。

故障維修檢查係統隻能由經過培訓並了解設備的人員進行操作。

故障維修檢查期間若沒有使用正確的保護措施，有可能引起傷亡或嚴重的受傷，因此在進行故障維修時必須使用保護設施。

故障維修前請關閉電源。

進行故障維修前請再次確認注意事項。若在故障維修時無法判斷該如何實施時請立即停止作業，聯係我司。

2）設備故障的情況

2.1、係統電源故障

現象：

按下“SS-150（60）”正麵的電源按鍵後，顯示燈不亮，設備電源不供電，設備不能啟動。

原因：

1）供給電源的220V插頭不能供電

2）“SS-150（60）”內部超負荷而引起E.L.B（漏電保護器）將電源轉至關閉狀態

解決方法：

檢查供給設備電源的220V插頭是否從供電盒脫落

檢查“SS-150（60）”背麵的E.L.B（漏電保護器）的開關是否處於打開狀態

          若確認設備背麵的開關之前是打開狀態，之後並不是人為將開關關閉時，此時不要將開關打開，請聯係售後工程師

注意：若確定電源插頭正確插在供電盒上，並且E.L.B（漏電保護器）的開關在打開狀態時，請特別注意此時即使不打開設備正麵的開關按鍵SMPS和其他設備部分也可能帶電

2.2、PC啟動故障

現象：

計算機無法被正常打開或畫麵中什麽也不出現

計算機啟動中途黑屏，停止啟動

軟件不能正常執行

原因：

計算機電源不供電

計算機沒有正常關機導致軟件出現問題

計算機和“SS-150（60）”之間的連接線沒有正常連接

解決方法：

檢查計算機的供電電源插頭是否正常插入

檢查計算機的電池是否耗盡

檢查計算機和“SS-150（60）”之間連接線的連接狀態

檢查“SS-150（60）”設備是否被打開

檢查是否有必要的程序在執行

檢查計算機是否中毒

2.3、通訊故障

現象

跳出“無法找到Active Scan設施”的錯誤提示

原因

設備和計算機的USB線連接不良

解決方法

重新連接USB線

2.4、真空故障

現象

抽真空過程中從設備內部主板中傳出“BB”的連續提示音

原因

機械真空泵和“SS-150（60）”之間的真空泵管沒有正確連接

機械真空泵故障

分子泵故障

樣品艙門沒有完全關閉

解決方法

檢查機械真空泵和“SS-150（60）”之間真空泵的連接狀態

抽真空時關緊樣品艙門

更換機械真空泵內的真空泵油

 

        以上介紹了國產掃描電鏡的產品介紹，作為國內一個自主研發的儀器公司，草莓视频APP黄色软件投入了大部分精力在做國產掃描電子顯微鏡的項目，草莓视频APP黄色软件的目的很明確，就是要盡可能做到在同等技術級別的平台下不落後國際上的前輩產品。草莓视频APP黄色软件還會像能譜儀（ED-XRF）一樣，一步一個腳印的為國內廠家、大學和研發機構等做好每一台產品。希望草莓视频APP黄色软件的國產掃描電鏡能夠為草莓视频APP黄色软件中國日益蓬勃的研發工作做出微薄之力。